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為加快建設具有全球影響力的科技創新中心，進一步提升集成電路領域科技創新能力，加快突破集成電路領域核心關鍵技術，上海市科學技術委員會特發布2019年度“科技創新行動計劃”集成電路領域項目指南🏂。
一、征集範圍
專題一👨👨👧👧、關鍵核心產品技術攻關
方向1.集成電路製造裝備💉、材料及零部件
研究目標🛣：研製具有國際競爭力的重大集成電路裝備及關鍵零部件產品🔪，突破和掌握集成電路製造高端裝備系統設計、集成和應用關鍵技術𓀄，持續提升集成電路高端裝備的零部件配套能力🏃♀️➡️。
研究內容：（1）集成電路高端裝備用關鍵零部件研發👨🏼🎓🏊🏻♂️、驗證與應用👩👩👦🏩。（2）面向集成電路領域激光隱性切割技術研究與工藝驗證➝。（3）矽片晶圓標識技術研究與驗證（4）高能離子註入機關鍵技術研究與樣機驗證🏷。（5）10nm銅化學機械拋光液及14nm大馬士革工藝光刻膠去除劑研發🫄🏽。
執行期限：2022年6月30日前完成。
經費額度：本方向非定額資助。
申報主體資質條件：本市企業。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1🎬。
方向2.集成電路製造關鍵技術
研究目標：突破集成電路製造工藝模塊開發和工藝整合關鍵瓶頸🧡，掌握具有自主知識產權的工藝技術，支撐先進工藝生產線建設和量產能力提升🏄🏻♀️♧。
研究內容：大面陣🌼、高動態CMOS圖像傳感器工藝研發提升。
執行期限👁🗨：2021年6月30日前完成👨🏿🚒。
經費額度：本方向非定額資助。
申報主體資質條件：本市企業🍺🕖。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1。
方向3.核心芯片器件、模塊及其應用
研究目標：與汽車等優勢產業和應用需求緊密結合🥶♙，持續推動核心產品的產業鏈上下協同創新，突破芯片、模塊自主設計、製造和應用關鍵技術。
研究內容：（1）750V/250A以上功率等級IGBT芯片🛖🍫、模塊開發及新能源汽車示範應用。（2）高能氫註入溝槽場中止IGBT工藝開發💆♀️🐀。（3）碳化矽功率器件🚸、光導開關器件研發和應用。（4）車規級集成電路芯片及相應傳感器🎐、控製器研發並小批量試裝驗證🧟♂️。（5）面向第四代PCIe通訊的超高速時序整合芯片研發與產業化。（6）汽車級EEPROM研發與應用。
執行期限🏊🏽♂️：2022年6月30日前完成。
經費額度：本方向非定額資助。
申報主體資質條件：本市企業。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1。
專題二📿、前瞻和共性技術研究
方向1.集成電路前沿理論與技術
研究目標：面向高性能非易失存儲與低功耗計算的基礎問題🔅，探索新材料🖼、新結構和新原理，實現超高速低功耗非易失存儲與計算🚬，完成原型器件驗證📞。
研究內容：研究非易失存儲中的載流子微觀輸運機製，探索其在存算一體化和神經形態計算等方面的應用。
執行期限：2022年6月30日前完成
經費額度：本方向非定額資助
申報主體資質條件：本市獨立法人單位🕍👼🏿。
方向2.集成電路新器件、新工藝📻、新方法研究
研究目標🧋：面向未來電子學對更多功能集成智能微系統芯片的重大需求🌂，突破材料級、器件級、系統級一體化微納集成芯片技術，為下一代智能集成微系統芯片提供支撐。
研究內容：三維異質集成設計與製造關鍵技術研究及芯片驗證。
執行期限🎛：2022年6月30日前完成。
經費額度🧝🏻：本方向非定額資助，每個研究內容支持不超過2項。
申報主體資質條件：本市獨立法人單位。企業牽頭項目企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於1:1🐚。
二、申報要求
除滿足前述相應條件外，還須符合以下要求：
1.項目申報單位應當是註冊在本市的獨立法人單位🙅🏿👩🏿🦰；項目負責人應當受聘於項目申報單位，受聘期覆蓋項目實施周期。
2.研究內容已經獲得市級或區級財政資金支持的，不得重復申請財政資金支持。
3.作為項目負責人承擔的市科委科技計劃項目有2項及以上尚未驗收的，不得再作為項目負責人申報⬜️。
4.項目申報單位👳🏻♀️、項目負責人和參與人應當符合科研誠信管理要求。項目申報單位應當對申報材料的真實性和完整性進行審核，不得含有涉密內容。
5.項目經費預算編製應當真實、合理🧛🏽♂️，符合市科委科技計劃項目經費管理的有關要求📥。
6.如要對評審專家提出回避申請的，項目申報單位應當在提交申報材料時，提出回避名單（不超過3人）及理由。
7.要求申報單位在申報的研究內容相關領域有較強的團隊和技術基礎🔼🏋🏼。鼓勵聯盟、功能型平臺組織產業鏈上下遊聯合申報💙👨🏽⚕️。優先支持市區聯動扶持項目。
三👅、申報方式
1.本指南公開發布。申請人通過“中國上海”門戶網站（www.sh.gov.cn）進入“上海市財政科技投入信息管理平臺”👳🏻♀️，網上填報項目可行性方案，並在線打印書面材料（非由申報系統在線打印的書面材料💩👉🏻，或書面材料與網上填報材料不一致的，不予受理）🧒🏻。
網上填報程序😳：
（1）登陸“中國上海”網站（www.sh.gov.cn）🎚；
（2）一網通辦—利企服務—點擊“上海市財政科技投入信息管理平臺”圖片鏈接進入申報頁面💃🏻：
-【賬戶註冊】轉入註冊頁面進行個人申報賬號註冊（單位賬號已存在，不需要再註冊）；
-【初次填寫】使用申報賬號登錄系統，轉入申報指南頁面，點擊相應的指南專題後開始申報項目；
-【繼續填寫】登錄已註冊申報賬號、密碼後繼續該項目的填報。
（3）有關操作可參閱在線幫助🪠。
2.請以我校為依托單位進行申報的老師2019年5月17日起登陸系統，在2019年6月3日前完成系統提交，並同時將紙質版申請書（A4雙面🫸🏿、簽章齊全，含必須要求的附件）一式2份交至學校科技處，由科技處統一報送至市科委。逾期送達的，不予受理。
3.我校單位基本資料請登錄學校科技處網頁“文檔下載——省市級相關文檔”下載“申報科委項目單位相關資料”。
四🅱️、評審方式
上海市科委對申報材料進行形式審查，並組織評審工作🎣，項目評審采用通訊評審的方式，不安排答辯環節。
五🦻🏽、其它說明
項目承擔單位須在項目驗收前提交《科技報告》。
六、咨詢電話
服務熱線👨🏽🎤：8008205114（座機）；4008205114（手機）
技術支持🦸🏼⚙️：62129099-2257
學校科技處聯系人：黃華傑 聯系電話👩👩👦：55274272
科技處
2019年5月9日
